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激光焊接的工藝及流程,分析了在優(yōu)化工藝參數(shù)下焊接接頭的顯組織、耐腐蝕性能和力學(xué)性能. 顯組織分析表明:焊縫窄且寬度均勻,未發(fā)現(xiàn)裂紋等缺陷;雙面超薄不銹鋼復(fù)合板的激光雙面焊接具有成形性能好,焊縫金屬與覆層不銹(略)連接良好.PSP法、CSP法和PSS法的激光焊縫晶粒均比母材的小。
隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致號(hào)傳輸延時(shí)、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問題,為了解決這一問題,多孔低(超低)k介電材料越來越引起人們的注意。通過在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400~450℃的熱沖擊,因此首先對(duì)不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。




但是,由于碳?xì)浠鶊F(tuán)的熱解吸以及結(jié)構(gòu)的重組降低了薄膜的厚度,并且熱解吸還導(dǎo)致薄膜的疏水性能降低。其次真空熱處理降低了薄膜的漏電流,并且使SiCOH/Si界面的界面態(tài)發(fā)生改變。
     (1)焊接方法。復(fù)合耐磨板對(duì)過熱十分敏感,因此宜采用焊條電弧焊和TIG焊等焊接熱輸入較低的焊接方法,也可以MIG和埋弧焊,電渣焊與氣焊引起晶粒粗大,不宜采用。
       (2)焊接材料的選用。復(fù)合耐磨板焊接可以采用同質(zhì)焊接材料,也可采用異質(zhì)焊接材料。前者的化學(xué)成分應(yīng)與母材相近,后者主要是奧氏體鋼型焊接材料,通常用于不允許進(jìn)行預(yù)熱或焊后熱處理的場(chǎng)合,對(duì)于要求耐高溫腐蝕和抗氧化的焊接接頭,應(yīng)優(yōu)先使用同質(zhì)材料。
       (3)焊接熱輸入。復(fù)合耐磨板的突出問題是接頭脆化,主要原因之一是過熱區(qū)晶粒長(zhǎng)大。長(zhǎng)大程度取決于接頭所達(dá)到的 溫度及其停留時(shí)間。為了避免在高溫下長(zhǎng)時(shí)間停留而導(dǎo)致粗晶和σ相析出脆化,應(yīng)采用盡可能低的熱輸入。



 而如果材料軋制過程中鐵粉吹掃不干凈,就會(huì)殘留在高硬度堆焊耐磨襯板表面,也就形成了我們看到的一些黑斑。類似這樣的缺陷都會(huì)對(duì)高硬度堆焊耐磨襯板產(chǎn)生影響,所以要盡量避免,改善產(chǎn)品質(zhì)量,提高經(jīng)濟(jì)效率的同時(shí),對(duì)我們節(jié)約成本也是有幫助的。
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