隨著超大規(guī)模集成電路的特征線寬不斷減小,導(dǎo)致號傳輸延時、功耗增大以及互連阻容耦合增大等問題,為了解決這一問題,多孔低(超低)k介電材料越來越引起人們的注意。通過在前驅(qū)氣體D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉積技術(shù)制備出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工藝及后道工藝中,薄膜需要經(jīng)受400~450℃的熱沖擊,因此首先對不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的結(jié)構(gòu)、表面形貌和濕水性進(jìn)行了研究。在真空熱處理過程中,熱穩(wěn)定性較差的碳?xì)浠鶊F(tuán)發(fā)生了熱解吸,使Si-O-Si網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)以及鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)發(fā)生交聯(lián)而形成鼠籠結(jié)構(gòu),從而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。



研究表明,堆焊層的裂紋數(shù)量越多,越細(xì)小,分布越廣 ,則堆焊復(fù)合耐磨板焊接應(yīng)力釋放的越徹底,母板焊后變形越小,應(yīng)用中越。
另外,堆焊復(fù)合耐磨板若表面沒有裂紋或很少的裂紋,則視為不合格產(chǎn)品,這是因為堆焊層表面硬度和耐磨性沒有達(dá)到技術(shù)要求。
但是我公司為了迎合市場需要,生產(chǎn)了高鉻合金板與普通基板復(fù)合而成的堆焊復(fù)合耐磨板,其表面沒有裂紋是因為生產(chǎn)工藝不同。天津鑫銘萬通焊割機(jī)械有限公司高品質(zhì)零配件,我們追求每一局部、細(xì)節(jié)的完美,只有高品質(zhì),才能鑄就高性能整機(jī)。我們相,表里如一才是好的產(chǎn)品。



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