電子級(jí)高純氣體管路介紹

電子、光電子和生物制藥等行業(yè)對(duì)傳輸敏感或腐蝕性介質(zhì)的高純、潔凈管道系統(tǒng)一般都采用光亮退火（BA）、酸洗或鈍化（AP）、電解拋光（EP）及真空二次溶解（VIM+VAR）產(chǎn)品。

A.電解拋光（Electro-Polished）簡(jiǎn)稱(chēng)EP。通過(guò)電化學(xué)拋光，可以極大地提高表面形態(tài)及結(jié)構(gòu)，使表層實(shí)際面積得到的減少。表面是一層封閉的、厚厚的氧化鉻膜，能量接近合金的正常水平，同時(shí)介質(zhì)數(shù)量也會(huì)降為少--通常適用于電子級(jí)高純氣體。

B.光亮退火（Bright Annealing）簡(jiǎn)稱(chēng)BA。在加氫或真空狀態(tài)高溫?zé)崽幚恚环矫鎯?nèi)部應(yīng)力，另一方面在管道表面形成一層鈍化膜，以改善形態(tài)結(jié)構(gòu)，減少能量水平，但不會(huì)提高表面粗糙度--通常適用于GN2，CDA,以及非工藝的惰性氣體。

C.酸洗或鈍化（Pickled & Passivated/Chemically Polished）簡(jiǎn)稱(chēng)AP和CP。管道經(jīng)過(guò)酸洗或鈍化，不會(huì)提高表面粗糙度，但可去除表面殘存的顆粒，降低能量水平，但不會(huì)減少介層數(shù)量--通常使用于工業(yè)級(jí)管道。

D.真空二次溶解潔凈管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)簡(jiǎn)稱(chēng)V+V，為住友金屬專(zhuān)利產(chǎn)品，經(jīng)過(guò)真空狀態(tài)下電弧條件下再次處理，有效提高了耐腐蝕性及表面粗糙度--通常適用在腐蝕性較強(qiáng)之高純電子級(jí)氣體上，如：BCL3，WF6，CL2，HBr等