平?jīng)鲠轻季茕摴芮白嗾婵胀嘶饍?yōu)質(zhì)彈簧鋼、平?jīng)鲠轻籍?dāng)?shù)毓ぞ咪?、平?jīng)鲠轻籍?dāng)?shù)鼐茕摴艿慕z材，不銹鋼制品及鈦合金材，作光亮退火均可采用真空處理。退火溫度愈低，則要求真空度愈高。為防止鉻的蒸發(fā)及加速熱傳導(dǎo)，一般采用載氣加熱(保溫)法，并注意對(duì)不銹鋼和鈦合金不宜用氮而應(yīng)采用氬氣。過(guò)程真空淬火真空淬火爐按冷卻方法分為油淬和氣淬兩類，按工位數(shù)分為單室式和雙室式，904山\畏嘲均屬周期式作業(yè)爐。真空油淬爐都是雙室的，后室置電加熱元件，前室的下方置油槽。工件完成加熱、平?jīng)鲠轻籍?dāng)?shù)乇睾笠迫肭笆?，關(guān)閉中門后向前室充入惰性氣至大約2．66％26times；lO ～1．01％26times；10 Pa(200～760mm汞柱)，入油。油淬易引起工件表面變質(zhì)。由于表面活性大，在短暫的高溫油膜作用下即可發(fā)生顯著薄層滲碳，此外，碳黑和油在表面的粘附對(duì)簡(jiǎn)化熱處理流程很不利。真空淬火技術(shù)的發(fā)展主要在于研制性能優(yōu)良、平?jīng)鲠轻籍?dāng)?shù)毓の粏我坏臍饫浯慊馉t。前述雙室式爐亦可用于氣淬(在前室噴氣冷卻)，但雙工位式的操作使大批量裝爐的生產(chǎn)發(fā)生困難，也易在高溫移動(dòng)中引起工件變形或改變工件方位增加淬火變形。單一工位的氣冷淬火爐是在加熱保溫完成后在加熱室內(nèi)噴氣冷卻。氣冷的冷速不如油冷快，也低于傳統(tǒng)淬火法中的熔鹽等溫、平?jīng)鲠轻籍?dāng)?shù)胤旨?jí)淬火。因而，不斷提高噴冷室壓力，增大流量，以及采用摩爾質(zhì)量比氮和氬小的惰性氣體氦和氫，是當(dāng)今真空淬火技術(shù)發(fā)展的主流。70年代后期將氮?dú)鈬娎涞膲毫?1～2)％26times；10Pa提高到(5～6)％26times；10Pa，使冷卻能力接近于常壓下的油冷。80年代中期出現(xiàn)超高壓氣淬，用(10～20)％26times；10Pa的氦，冷卻能力等于或略高于油淬，已進(jìn)入工業(yè)實(shí)用。90年代初采用40％26times；10Pa的氫氣，接近水淬的冷卻能力，尚處于起步階段。工業(yè)發(fā)達(dá) 已進(jìn)展到以高壓(5～6)％26times；10。Pa氣淬為主體，而中國(guó)產(chǎn)氣淬一些金屬的蒸氣壓(理論值)與溫度的關(guān)系則尚處于一般加壓氣淬(2％26times；10Pa)型階段。